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新型ドライ真空ポンプ EV-A10型 販売開始のお知らせ

株式会社荏原製作所

 当社は、2012年10月より新型 ドライ真空ポンプ EV-A10型の販売を開始しました。
 EV-A10型は、一般産業用途向け小型・空冷式ドライ真空ポンプとして、半導体業界を始め、LED、太陽電池、液晶業界等の先端分野において培ったドライ真空ポンプ技術を基に開発しました。

製品概要
名称 ドライ真空ポンプ EV-A10型
排気速度 1,000L/min
到達圧力 1.0Pa (ガスバラスト無し)、2.0Pa(ガスバラスト有り)

 本製品の特長は、排気時間を大きく左右する大気圧付近における排気速度が800L/minと非常に大きく、短時間で大気からの真空引きが可能です。そして、空冷式のポンプのため冷却水は不要で、必要なユーティリティーは電源のみ(200V)と、既存設備への適用を含め設置の自由度が高く、キャスターが標準で付属されており、移動も容易にできます。
 また、海外でもご使用いただけるよう、CEマーク・NRTLに対応しております。
 一般真空排気、分析/測定、リチウムイオン電池製造、その他幅広い用途でご使用いただけます。
 今後も、荏原製作所は、お客様の生産性向上やトータルコストの削減に貢献する製品・サービスの開発にいっそう注力してまいります。

腐食性・爆発性ガスの排気および反応副生成物が発生する用途には適しません。
凝縮性ガスや水分を含んだガスの排気の際には、ガスバラストが必要です。
EV-A10型

EV-A10型

以上