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精密・電子事業30周年

2016.03.31
株式会社荏原製作所

 荏原製作所(以下:荏原)精密・電子事業は事業の立ち上げから2015年度に30周年を迎えました。現在はすでに次の30年に向けて順調に動き出しています。
 1985年に本社部門のひとつとして発足以来、半導体関連市場で一貫してお客様に望まれるものを、迅速かつ確実に提供してきました。
 半導体技術は1947年のトランジスタ発明以来、IBM・デナードの微細化則P※1を基本としてインテル・ムーアの法則P※2にのっとり60年以上も発展し続けています。その半導体関連市場は、今後ともハイテク産業のトップであることに変わりはなく、拡大し続けます。精密・電子事業も顧客とともに発展し、次の30周年を祝えるよう努力してまいります。

【精密・電子事業沿革】
1985年 ドライ真空ポンプ・ターボ分子ポンプの開発スタート
1986年 ドライ真空ポンプ1号機(ルーツ型ERD/UERR型)出荷
1992年 CMP1号機出荷
1995年 ルーツ型ドライ真空ポンプAA型発売(初の省エネルギー型)
2001年  300mmウエハ用実装めっき装置UFP300型出荷
2004年 ベベル研磨装置EAC200bi/300bi型発売
2008年 燃焼式排ガス処理装置G5型発売(燃焼式第三世代)
2012年 300mmウエハ用CMP F-REX300S2型(第三世代F-REX)発売
2015年 新型めっき装置UFP300A型発売
※1 IBM社ロバート・デナードが提唱した集積回路の高速化についての法則
※2 インテル社のゴードン・ムーアが提唱した半導体チップの集積度についての法則
「「○○○型」の表示は当社の機種記号です。」

以上