ニュース & メディア

ドライ真空ポンプ 藤沢工場累計出荷台数15万台達成

2018.05.30
株式会社荏原製作所

15万台目のドライ真空ポンプ

 荏原製作所(以下:荏原)精密・電子事業カンパニーは、本年5月にドライ真空ポンプの藤沢工場累計出荷台数15万台を達成しました。1986年の初号機出荷以来、32年での成果です。

 半導体製造工程で使用する真空ポンプは、1980年代まで油回転ポンプが主流でしたが、高集積化に伴いより清浄な真空環境のニーズが高まり、当社のコアコンピタンスである回転機械技術を応用して、接ガス部にシール用の液体を使用しないドライ真空ポンプを製品化しました。当社のドライ真空ポンプは、清浄な真空をつくるだけでなく、非接触のシール構造という特長を持ち、メンテナンス頻度を低減することが可能です。これらの特長を生かし、現在では半導体やディスプレイ製造だけでなく、太陽電池・LED・リチウムイオン2次電池・各種分析装置といった幅広い産業に用途を拡大しています。

 荏原は、中期経営計画(E-Plan2019)の施策に基づき生産効率を画期的に高めたドライ真空ポンプの全自動化工場を2019年までに立ち上げ、海外の生産拠点との連携も深め、引き続き堅調な半導体市場の需要や多方面のお客様の要求に応えてまいります。

「ドライ真空ポンプの歴史」
1985年: ドライ真空ポンプの開発スタート
1986年: ルーツ型ドライ真空ポンプ販売開始
1989年: ドライ真空ポンプ量産工場 V2工場完成
1991年: 標準パッケージ機 A型発売開始
1994年: 藤沢工場累計出荷台数1万台達成
1995年: 省エネルギー形ドライ真空ポンプ AA型発売開始
1997年: 重負荷プロセス用スクリュー型ドライ真空ポンプ AAS型発売開始
1998年: AA70Wが日刊工業新聞社 機械工業デザイン賞「日本産業機械工業会賞」受賞
2000年: AA型が日本機械工業連合会 平成11年度優秀省エネルギー機器「資源エネルギー長官賞」受賞
2003年: 省エネルギー形ドライ真空ポンプESR型発売開始
2004年: 重負荷プロセス用スクリュー型ドライ真空ポンプEST型発売開始
大流量排気用ルーツ型ポンプESA型発売開始
2007年: ESR型が日本機械工業連合会 平成18年度優秀省エネルギー機器「日本機械工業連合会会長賞」受賞
2009年: 省エネルギー形ドライ真空ポンプEV-S型発売開始
空冷式小型ドライ真空ポンプPDV型発売開始
2011年: 重負荷プロセス用省エネルギー形ドライ真空ポンプEV-M型発売開始
藤沢工場累計出荷台数10万台達成
2012年: 空冷式ドライ真空ポンプEV-A型発売開始
2013年: 計測機器用省エネルギー形空冷式ドライ真空ポンプEV-SA型発売開始
2016年: 軽中負荷プロセス用省エネルギー形ドライ真空ポンプEV-L型発売開始
2018年: 藤沢工場累計出荷台数15万台達成
あいさつをする精密・電子事業カンパニープレジデント浅見正男