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真空ポンプ高温均熱化構造に関わる特許で「発明協会会長賞」を受賞

2019.11.14
株式会社荏原製作所

 荏原製作所(以下:荏原)は、真空ポンプの高温均熱化構造に関わる特許※1により、公益社団法人発明協会が主催する令和元年度関東地方発明表彰の「発明協会会長賞」を受賞しました。今回は、本賞の他に発明奨励賞も6件※2受賞しています。表彰式は、11月13日(水)に東京都内で開催されました。

1. 背景
 地方発明表彰では、全国を8つのブロックに分け、各地域において優れた発明やその実施化、及び指導、奨励、育成に貢献した技術者や研究者を表彰しています。科学技術の向上および産業の発展に寄与することを目的として1921年に創設されました。今回の受賞は、半導体・液晶などの製造工程に用いられる荏原のドライ真空ポンプにおいて、ポンプを高温均熱化することで固形物の生成を抑える技術が評価されたものです。

2. 表彰された技術の概要
 半導体などの製造プロセスで排気されるガスの中には、ポンプの低温部で固形化しやすい成分が含まれています。従来はヒータを取り付けることでポンプを高温化し、固形化物によるポンプの運転停止を防いでいました。本発明では、ポンプケーシング内に複数の伝熱材を挿入すると共に、ポンプ室吸気側並びに排気側の形状を工夫しています。これにより、ポンプ運転に伴い発生するガス圧縮熱(自己発熱)をポンプ室全体に行き渡らせ、ポンプ室全体を高温均熱化します。高価なヒータを使うことなくポンプ内部での固形物生成を抑え、ポンプの長期安定稼働を実現すると共に、消費電力の削減にも寄与するという技術です。

3. 今後の展開
 荏原のドライ真空ポンプは国内外で半導体・液晶などの製造工程に用いられ、世界第2位の高いシェアを有しています。これからも荏原はお客様のニーズに特化したドライ真空ポンプの開発に挑戦し、信頼性の高い荏原ブランドを世界に展開してまいります。
【参考】発明の名称:真空ポンプ(特許登録番号第5793004号、2011年出願、2015年登録)

【受賞内容一覧】
・※1発明協会会長賞
  「真空ポンプ高温均熱化構造」
・※2奨励賞
  「モータポンプ」
  「基板研磨押圧力制御装置」
  「給水装置」
  「増圧給水システム」
  「放射性ヨウ素吸着技術」
  「ユニットサイレンサ」

【参考URL】公益社団法人発明協会 令和元年関東地方発明表彰http://koueki.jiii.or.jp/hyosho/chihatsu/R1/jusho_kanto/index.html

 荏原グループは、経営方針に基づいて企業価値の更なる向上を図るため中期経営計画とESG重要課題に取組み、持続可能な開発目標(SDGs)の達成に寄与します。