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エバラ時報 No.213

世界の水問題をどう考えれば良いのか

合流式下水道雨天時下水の高速凝集沈殿処理

 合流式下水道雨天時下水の直接処理を目的として高速凝集沈殿処理方法を開発した。東京都の下水処理場にパイロット装置を設置し雨天時下水の処理試験を13回行った。水面積負荷50m3/(m2・h)で処理を行い,SS負荷除去率78~91%,BOD負荷除去率64~85%という良好な結果を得た。雨天時下水はアルカリ度低下により塩化第二鉄添加後pHが低下する。このpH低下により凝集状態が改善し処理性能は向上した。凝集剤添加後の撹拌方法として均一撹拌が可能である迂流式撹拌槽を採用した。水量低下時の撹拌力不足の抑制方法として,塩化第二鉄及びポリマ添加直後に短時間の急速撹拌を行いそれらを拡散させることが有効である。

CMPにおけるウェーハエッジロールオフの影響

 ウェーハエッジロールオフのCMPプロセスへの影響をFEM(Finite Element Method)解析によって調べた。その結果,積層パッドにおいても単層パッドにおいても,エッジロールオフがウェーハエッジ部の研磨レート分布に影響を与えることが分かった。その影響範囲は,積層パッドの場合エッジから4mm,単層パッドの場合エッジから10mmに及んだ。ROA(Roll-Off Amount)が1.27μmの場合,エッジ近傍の面圧がウェーハ中央部より積層パッドで約30%,単層パッドで約23%大きかった。また,リテーナリング圧力と許容ROAとの関係は積層パッドと単層パッドで異なった。積層パッドでは,リテーナリング圧力を変えると許容ROAが0から0.6μmの間で変化したが,単層パッドでは,リテーナリング圧力を変えても許容ROAはほとんど変わらず,0から0.4μm程度であった。

LNGポンプとLNGエキスパンダタービン

 近年のLNG需要の高まりと共に,LNGの液化基地,船,受入基地等サプライチェーンの各種新規設備が続々と建設されている。これらの設備にはLNG用回転機械が多数使用されている。当社は国内のLNG導入後の早い時期から,メカニカルシールタイプのLNG用ポンプをはじめ,サブマージドモータポンプ等の開発に取り組み技術蓄積と実用化を図ってきた。更に米国のサブマージドモータポンプメーカの完全買収で,実液試験設備や世界市場での製品供給実績等を獲得し,世界市場での事業展開を推進している。

道路下埋設形真空ステーションの開発

 真空式下水道収集システムで使用される真空ステーションは,下水道整備地区の小規模化により,低コストでコンパクトなものが求められてきた。道路下埋設形真空ステーションは,集水タンクをマンホール内に収め道路下に埋設可能な構造とし,また正逆回転可能な真空ポンプで,集水タンク内に空気を送り込むことにより,汚水を圧送可能にした真空ステーションである。これにより従来必要だった圧送ポンプを不要としている。また,真空ポンプと制御盤はメンテナンス性を考慮した小型ユニット化したため,必要敷地を最小限にし,低コストで設置可能となり,真空ステーション用に建屋を建設する必要もなくなった。

融雪ポンプ制御システム スノーラスタ

 くみ上げた地下水を散水することにより路面等の雪を溶かす“散水式融雪システムスノーラスタ”を開発した。本製品の主な特長は,①スノーセンサの降雪検知に雪片を直接カウントする方式を採用したこと②制御盤の制御部にマイコンを搭載したこと,などがあげられる。これらの採用により,次の効果が得られた。従来の降雪検知方式では風などによる影響を受けやすかったが,新方式採用により改善された。長年の地下水くみ上げによる地盤低下が問題となっているが,マイコン搭載により地下水の揚水管理が容易になった。また,ポンプの運転管理を容易にし,ポンプの消費電力が監視できるようになった。

新型CMP装置 F-REX300SⅡ

 CMP装置は半導体製造工程において,必要不可欠なプロセス装置となっている。それに伴い,顧客における装置選定の重要な要素として性能向上に加え,高スループット化といった生産性に大きくかかわる要求も増大してきている。これら市場要求に応えながら,更に,高機能化,メンテナンス性向上,操作性向上など使用者側に立った改善をテーマに,F-REX300Sをベースとした新型装置F-REX300SⅡを開発した。