テクノロジー&サービス

最先端テクノロジー&サービス

エバラ時報 No.215

新しい国家戦略の柱となったエネルギー・資源

大型ポンプの生産活動におけるLCA

 LCAは,製品の製造から使用,廃棄に至るまでの環境負荷を定量的に把握し,評価する手法である。羽田工場及び協力会社の環境データと生産管理データを組み合わせてサプライチェーンの環境負荷原単位を算出しデータベース化した。このデータを使用し,個々の製品については,製作仕様を使用して環境負荷を算出するシステムを構築した。この方法により,受注生産品である大型ポンプの環境負荷の算出が容易となり,環境配慮製品の提供に貢献することができる。また,各工程における問題点を把握することが可能なため,環境負荷低減活動の推進・実施を効率的に行うことができる。

晶析技術を用いた嫌気性消化汚泥からのりん資源回収プロセスの開発

 筆者らは,水処理系のりん負荷低減とMAP回収量の増加を目的に,消化汚泥中のMAPを回収すると共に,消化汚泥中のりんを結晶化させて分離回収するプロセスを考案した。本プロセスは,完全混合型の晶析リアクタと液体サイクロンからなる。予備実験では,消化汚泥中のりんの晶析現象を把握することで,微細なMAP結晶の発生を抑制する条件を検討した。また,処理量6m3/dのパイロット試験装置を下水処理場に設置し,嫌気性消化汚泥を対象に前記の実証試験を行った。実証試験では約6箇月間にわたり,消化汚泥中のT-P(全りん)の内30%以上をMAPの形態で安定して回収することができ,本プロセスの実用性を実証することができた。

CMPコスト削減のための銅配線めっきの平坦化技術

 CMPコスト削減のための銅配線めっきの平坦化技術を考案し,検証した。貫通直孔の多孔質Padをウェーハ表面に押し当ててめっきすることにより,フィールド部のめっき成長を抑制し,直孔内にだけ柱状のめっきを成長させた。この柱状のめっきはケミカルエッチングで容易に選択除去でき,平坦で余剰めっき膜厚の少ないめっき膜を得ることができた。このようにしてできた銅配線めっき膜にCMP処理を行った結果,従来のめっき膜よりも短期間で処理することができ,また,良好な段差特性を得ることができた。

新型浅井戸用ポンプ(HPA型)

 新型の浅井戸用ポンプHPA型の開発を行った。本製品には配管一体型ベースを採用し,また各吐出し口を連通させる連結管をベース下部に配置することで,吐 出し方向を3方向から選択可能とした。また,フロースイッチとチェッキ弁を一体化したフローチェッキを採用することにより,部品点数の削減によるポンプの 小型・軽量化(設置面積20%減少)を実現し,ポンプ設置性の向上を図っている。更に,電動機取付ナットを緩めるだけで,電動機を後方へスライドできる構 造とし,これによりポンプケーシングをユニットベースから取り外すことなくメカニカルシールの交換が可能となりメンテナンス性も向上している。

小型VOC処理装置(生物処理法)BIOTON

 平成16年5月の大気汚染防止法改正で,揮発性有機化合物(VOC)の排出規制が追加された。この法改正で自主的に排出抑制が求められている中小規模の印刷業界・塗装業界等を対象にして,VOC分解のために外部からのエネルギー供給が不要で,環境への負荷が小さい生物処理法による小型VOC処理装置を海外から技術導入して製品化した。製品化に当たっては,日本国内における工場の実情に合わせて本技術を確認するため実証機を製作し,実際の施設でフィールド試験を行った。その結果,1年間特に手間をかけずに運転ができ,本技術の有用性を確認することができた。