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エバラ時報 No.234

これからの日本の匠に期待して

CMP終点検出モニタ用渦電流式センサとその応用

 半導体デバイスの高集積化・高密度化が進み,配線の微細化や配線層数が増加すると,CMP(化学的機械研磨)装置により各層を平坦化することが重要となる。特に,微細化が進むなかでCMPプロセスの終了点を検出する研磨終点検知の技術に要求される精度は大変厳しいものになりつつある。当社では,この技術課題を解決するために,各種センサ及び研磨終点検出装置の開発を継続して行っており,これらの中で渦電流式センサは,半導体デバイスにおける金属膜除去の研磨終点を,精度良く検出可能とする技術として開発を進めている。

ベトナムにおけるカスタムポンプ域産域消の一例

 ベトナムにおけるかんがい排水用カスタムポンプの域産域消の例として,既設ポンプ場の問題を解決する2種類のエリアスタンダードポンプを紹介する。斜置水中モータポンプシステムは土木工事の大幅簡素化,運用の容易化が可能であり,立軸プルアウト式ポンプは維持管理作業の大幅な容易化が可能である。最近では,既設ポンプの取替のみならず,新設機場にも採用が広がっている。
 このような既設の問題のソリューションとなるエリアポンプシステムを現地拠点が中心になって開発・製造・販売していくことが,継続的な域産域消に繋がると考える。

首都高速中央環状線 山手トンネル換気設備

 首都高速中央環状新宿線(山手トンネル)は,全長約11kmの長大トンネルである。全線が地下トンネル構造であり,9箇所に換気所を設置し,トンネル内の換気を行うための設備が配置されている。このうち,当社は要町換気所と中落合換気所に換気設備を納入した。
 山手トンネルにおける換気設備の役割には,「トンネル内環境の確保」「火災発生時の非難環境の確保」「周辺大気環境の保全」がある。また,換気方式としては,出入口部が多いトンネル構造上の理由などより,横流式を採用している。

マイクロガスタービンコージェネレーションパッケージの紹介

 マイクロガスタービンコージェネレーションパッケージは,低振動,低騒音であり,また,排ガス中に含まれるNOxは30ppm未満,完全燃焼するため未燃メタンは1ppm未満と環境性能に優れている。補機が少なく単純な構造であるため設置・運用が容易である。燃料には都市ガスのほか,バイオマス由来の低発熱量の消化ガスも利用でき,CO2削減効果の高い運用が可能である。また遠隔監視システムを用いた運用サポートとメンテナンスを行うことで,高い稼動信頼性が達成できる。温水仕様パッケージの場合,投入燃料エネルギーに対し,電力と温水回収熱量を合わせた総合熱効率は約79%になる。蒸気仕様も対応可能である。