半導体、フラットパネル、LED、太陽電池等の製造工程で幅広く使用されている荏原のコンポーネント製品群。
真空排気系の製品や有害ガスの処理装置、その他のコンポーネント製品をご紹介します。

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半導体の製造工程には何百というステップが存在します。荏原は、その工程中の中枢となるプロセスステップを担う製造装置を製造・販売しています。
こちらではそれらの装置製品をご紹介いたします。

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• ※○○型は当社の機種記号です。

掲載した製品は「輸出貿易管理令 別表第1の16項に掲載の貨物」に該当しますので、輸出する場合は「用途」「需要者」などの確認が必要となり場合によっては経済産業大臣の許可が必要となります。（これらの要件確認は輸出者においてご確認ください）また、一部の製品は同管理令 別表第1の1～15項に該当（リスト規制該当品）します。このリスト規制該当品を輸出する場合は経済産業大臣の輸出許可が必要となりますのでご注意ください。