真空機器 - 荏原製作所

ESR型はロードロック室・SEM等軽負荷用途から耐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価値をそのままに、省エネルギー効果・省設置面積・軽量化を達成した独立設置対応用ルーツ型ドライポンプです。

EST型は反応副生成物が形成されるCVD等向けにスクリュウ型ロータを採用し、許容流入ガス量増大・耐食性能・通信機能等の付加価値、電力消費量の低減をも実現した独立設置型ドライポンプです。

ESA型はMO-CVD等の大流量軽ガス排気性能およびLCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、負荷に応じた回転数自動制御機能・通信機能等の付加価値を搭載した独立設置型ドライポンプです。

EV-S型は最高レベルの省エネルギー性能を最小フットプリントで実現しました。充実した省エネルギー運転機能を標準装備し、用途に合わせN2パージ機能付き仕様や、耐食仕様などのバリエーションも豊富な独立設置型ドライ真空ポンプです。

EV-M型は半導体・液晶・太陽電池セル製造工程の中で、反応副生成物が発生する高負荷プロセスに対応するドライ真空ポンプです。高負荷プロセス対応と省エネ性という、相反する条件を高いレベルで両立させました。ダウンタイム抑制とランニングコスト低減のご要望にも十分お応えできる次世代ドライ真空ポンプです。

PDV型は画期的な超軽量（20kg以下）、空冷、オイルフリー構造を持つユニークなドライ真空ポンプです。到達圧力0.5Pa以下を発揮しながら低振動・低騒音な軽量ポンプは、スクロールポンプや油回転ポンプからの置き換えなどに最適です。

ET-W型は5軸制御磁気軸受によってロータを安定的に浮上させ、非接触で高速回転を実現しています。タービン翼の下流にねじ溝ロータを設けたことにより、広い圧力範囲で運転が可能です。耐食処理を施すことにより反応性の強いガスの排気にも使用できます。

真空ポンプや排ガス処理装置など、排気系全体を遠隔集中監視するシステムです。お客様の保守点検の負荷を低減するとともに、装置や真空機器、排ガス処理装置のダウンタイム低減に貢献します。