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熊本新工場棟増設竣工
~精密・電子事業の基幹生産工場である熊本工場の生産能力増強~

2016.12.05
株式会社荏原製作所


 荏原製作所(以下:荏原)は、熊本事業所内に建設中であった精密・電子事業の新工場とドライ真空ポンプのオーバーホール拠点としてのサービス工場を11月15日に竣工しました。
 新工場は、既存の工場とほぼ同規模であり、主力生産機種であるCMP装置をはじめ各種半導体製造装置の生産に対応する、柔軟性の高い生産設備となっています。また、クリーンルーム内の空調で使用する電力の半減や生産過程で使用された水の95%以上の再利用などを通じて、環境負荷低減や周辺環境との調和に努め、地域との共生を図ります。  

 新工場の竣工により、精密・熊本工場では、装置の生産能力が最大で従来の2倍に拡大することが可能となるとともに、顧客ニーズや納期などへの柔軟な対応と精密・藤沢工場を含めた生産運営がさらにフレキシブルになります。予定通り、来年から生産に寄与できる見込みであり、引き続き堅調なCMP装置需要に応えてまいります。
 また、サービス工場は、既存の九州サービス工場に比べ3倍超のオーバーホール処理能力を有し、九州・中国地域を中心としたドライ真空ポンプのオーバーホール拠点となります。

 自動車、エネルギー、メディカルの分野での需要拡大や、あらゆるモノがインターネットでつながるIoT(Internet of Things)の進展に伴い、半導体市場は、今後も堅調な成長が予測されています。一方で、それらを支える半導体製造装置には、用途や製造プロセスなど多様なニーズへの対応が求められています。荏原は、これからもお客様の要望に応えた高機能な半導体製造装置の提供とサービス&サポート体制の拡充を図り、変化のスピードが速い半導体業界において、顧客ニーズに柔軟に対応し、事業拡大を図ってまいります。


熊本新工場
 
サービス工場

【新工場概要】
(1) 熊本事業所概要  
     所在地 :熊本県玉名郡南関町肥猪4000-1
     敷地面積 :約140,000平方メートル
(2) 新工場概要  
     施設内容 :半導体製造装置の生産及びドライ真空ポンプのサービス&サポート
     建築面積 :約12,000平方メートル
     竣工 :2016年11月15日
     投資額 :約68億円

以上

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