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新型ドライ真空ポンプ販売開始 半導体産業用途向けEV-L型

2016.12.07
株式会社荏原製作所


 荏原製作所(以下:荏原)は2017年1月より、半導体産業向けに新型水冷式ドライ真空ポンプ EV-L型の販売を開始致します。
 EV-L型は、メタル・Polyエッチングなどの中負荷用途向けに最適なドライ真空ポンプです。EV-L型の販売開始によって、現在販売中の軽負荷用途(ロードロック室、検査装置、PVD装置など)向けEV-S型および重負荷用途(成膜装置など)向けEV-M型と併せ、軽負荷から重負荷までの全ての領域で最適なドライ真空ポンプをラインナップしました。
 EV-L型は、小型・低消費電力であり、耐食材料を標準採用しているとともに、適応用途に最適な温度プロファイルをもつ製品です。

 今後も、荏原は、お客さまの生産性向上やトータルコストの削減に貢献する製品・サービスの開発にいっそう注力してまいります。


【EBARA EV-L型ラインナップ】
型式
排気速度
到達圧力
消費電力
(到達圧力運転時)
寸法(WxLxH mm)※1
EV-L20N
2000 L/min
2.0 Pa
0.65 kW
280 x 635 x 320
EV-L100N
10000 L/min
0.5 Pa
0.9 kW
380 x 647 x 655
EV-L200N
18000 L/min
0.5 Pa
1.0 kW
380 x 772 x 655

EV-L100N型
 

以上

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