精密・電子事業

精密・電子事業

 高度な精密製造技術で半導体の進化と豊かな情報化社会の発展を支えます。

 スマートフォンやタブレット端末をはじめとするモバイル機器及びこれらの情報機器の通信を支えるインフラ(クラウド)の市場は大きく成長しています。精密・電子事業カンパニーは、そうした製品や技術の中核となる半導体・液晶・太陽電池セル等の製造メーカを主なお客様とし、そのニーズに応える半導体産業用装置・機器、真空機器を開発・製造しています。半導体のハイスピードの進化に追従し、お客様の要求する製品機能を実現できる製造装置・機器をタイムリー に提供していきます。

ドライ真空ポンプと排ガス処理装置

 自社保有のモータ技術、ハイドロ技術、制御技術、熱解析技術、加工技術を駆使し、省エネルギーかつ小型軽量なドライ真空ポンプを実現。EV-S型では前シリーズ比約35%の消費電力低減とユーティリティコスト低減を達成しています。荏原の排ガス処理装置は、半導体製造工程で排出される温暖化ガスを含む多様なガスの分解除去を可能とし、さらに省エネルギー化、大流量化に対応しています。
 今後ますます求められる環境負荷の低い、環境に優しい半導体製造に向けて、荏原のドライ真空ポンプ、排ガス処理装置は省エネルギー、CO2削減、環境負荷低減を実現します。

※「○○○型」の表示は当社の機種記号です。

荏原の半導体製造装置

 300 ㎜ウェーハで約10~20ナノメートルという高度な平坦性を実現し、微細化を可能とするCMP 装置。パッケージング技術の革新に欠かせないバンプ、ピラー、再配線や貫通ビアといった加工の高速・高性能処理を実現するめっき装置。さらに、半導体製造の歩留り改善においてゴミの発生源として近年注目されているウェーハのベベル・裏面部を独自の研磨方法で処理するベベル研磨装置。荏原は半導体の微細化、3 次元化や低コスト化の課題に対応した製品開発に取り組んでいます。