化学、材料和电子零部件等各种产品制造工艺中将会发生有害气体。废气处理装置属于使用燃烧式、催化式等不同方式，将有害气体进行无害化处理的装置。近年来，出于环保的需要，废气处理装置的需求越来越高。
荏原废气处理装置具备符合处理对象气体和使用环境要求的丰富产品阵容，如可一次性高效处理多种可燃性气体的燃烧式，无需燃料和无需废水处理的干式等，在半导体制造等各种产业当中大显身手。
废气处理装置
TND型
具备低氮氧化物且丰富的反应副产物处理措施，能够降低维护成本的燃烧式废气处理装置
G5型
高效处理可燃性气体和氟化温室气体（PFCs气体）的燃烧式废气处理装置
FDS型
无需废水处理，能够高效安全处理PFCs气体的干式废气处理装置
GT型
无需废水处理，可进行砷、磷等有毒物质处理的干式净化装置
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