能够进行真空腔室、热交换器等冷媒输送管线以及包装容器等密闭容器的泄漏检查，因此被广泛应用于不同行业。使用氦气，能够安全检测出极微量的泄漏和细微的缺陷。为了做到高精度检测微量氦气泄漏，使用真空泵。荏原干式真空泵属于方便携带的小型设计以及不使用油和水的洁净排气，能够满足工厂以及研究室、实验室等不同使用环境的需求。
干式真空泵
EV-PA型
小型、轻量、节能空冷干式真空泵
ESA型
可满足氢气等轻质气体排气要求/大型腔室高速排气要求的干式真空泵
EV-A10型
最适合空气抽吸的小型空冷干式真空泵
EV-SA型
满足5,000L/m排气速度要求的小型空冷干式真空泵
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