从生命科学、宇宙科学等基础科学，到医疗、生物、工业产品等产业领域，幅射光能够应用于各种不同领域的研究开发。产生幅射光的加速器、储存环、将辐射光输送到试样当中的光束线使用高真空到超高真空环境。荏原干式真空泵在排气困难的氢气方面也具有卓越的排气性能，是建立超高真空环境所需涡轮分子泵的前级泵的不二选择。
干式真空泵
EV-PA型
小型、轻量、节能空冷干式真空泵
EMT型/ EBT型
可满足超高真空要求的涡轮分子泵
ESA型
可满足氢气等轻质气体排气要求/大型腔室高速排气要求的干式真空泵
EV-A10型
最适合空气抽吸的小型空冷干式真空泵
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