利用真空干燥，热量不会导致对象物发生变质，且干燥效率高，因此真空干燥被广泛应用于化学和工业产品的生产工艺。真空炉等真空干燥装置被应用于各种不同产品的生产工艺，如锂离子电池材料等材料，线圈、印刷电路板和液晶屏用玻璃电路板等电子零部件，金属加工零部件以及金属等材料。
荏原的干式真空泵不使用油和水，不会污染对象物，通过丰富的产品阵容，从小型腔室到大型腔室，能够满足各种不同干燥工艺的需求。
干式真空泵
EV-A10型
最适合空气抽吸的小型空冷干式真空泵
ESA型
可满足氢气等轻质气体排气要求/大型腔室高速排气要求的干式真空泵
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