目前半导体的需求在智能手机、AI、自动驾驶等各大领域不断扩大。精密与电子公司在半导体制造重要工序的CMP装置、干式真空泵、废气处理技术的领域，凭借丰富经验和技术实力提供满足顾客需求的最佳解决方案。
本公司积极开发拥有高度”平坦化技术”的高性能CMP装置以及为减少环境负荷做贡献的节能省资源组件产品，进而致力于干式真空泵制造的自动化等。
为富裕社会提供支持的”CMP装置”平坦化技术
半导体在智能设备、家电等方面为我们的生活提供支持，本公司经营半导体制造工序不可或缺的”CMP装置”，全球份额位列第二。在全球半导体制造现场得到广泛应用。
营造清洁环境的真空技术”干式真空泵”
半导体制造工序中可获得清洁真空的”干式真空泵”必不可少。本公司的份额位列全球第二，为全世界企业提供支持。
利用”废气处理技术”为可持续发展社会做贡献
本公司经营的”废气处理装置”在降低全球温室效应较强的PFCs的温室效应、安全处理可燃性气体等众多用途中得到应用。
半导体在智能设备、家电等方面为我们的生活提供支持，本公司经营半导体制造工序不可或缺的”CMP装置”，全球份额位列第二。在全球半导体制造现场得到广泛应用。
凭借”平坦化技术”向精细化和高度集成化发起挑战
”CMP装置”是半导体制造装置之一，本公司的该产品份额位列全球第二，凭借高精度的平坦化技术提高半导体设备的性能，实现了高度集成化。
新建”干式真空泵”的自动化工厂，满足全球需求
本公司为完善生产体制以满足全球半导体需求，于2018年新建干式真空泵的自动化工厂，为了实现自动化的进一步发展，每天都在不断改进。
推进善待地球环境的可持续发展产品开发
荏原集团为实现碳中和，通过各种方式积极开发善待环境的可持续发展半导体技术。
本公司积极开发拥有高度“平坦化技术”的高性能CMP装置以及为减少环境负荷做贡献的节能省资源组件产品，进而致力于干式真空泵制造的自动化等。
服务和支持
分析
泄漏检查
辐射光设施
研究开发
等离子清洗
涂覆
EBARA’s products in semiconductor factory
CMP equipment
Dry vacuum pump model EV-M