干式真空泵是指不使用油或液体进行密封的非接触式真空泵。这种泵不会发生水和油的倒流和扩散，能够获得洁净的真空环境。并且，也无需补充或更换水、油等定期维护作业，使用非常方便。
干式真空泵是重视洁净度的半导体设备制造工艺以及FPD、LED、太阳能电池制造工艺不可或缺的设备。近年来，由于干式真空泵能够轻松做到洁净排气，在质量分析仪和电子显微镜等分析设备方面的使用也在扩大。除此以外，由于真空洁净度高、维护方便，也被积极引入到真空干燥工艺、成膜工艺等不同用途中。
荏原干式真空泵具有节能、小型的特点，在各个领域大显身手。
通过独家优化转子设计，能够提高压缩效率，实现低耗电。由于其小型、轻量的设计，可在狭小空间内安装，搬迁也很方便。荏原干式真空泵在全球累计销售20万余台*，在性能和可靠性要求严格的半导体行业等各个领域大显身手。除此以外，我们在全世界拥有50多处售后服务网点，可全球范围内提供令人放心的技术支持。干式真空泵产品阵容丰富，包括行业顶级水平的小型・轻量型、氢气排放型、能够应对产生反应副产物工艺的高负荷应对型等，一定会有一台能够满足您的需求。
*截至2020年9月
迄今为止，荏原的干式真空泵主要结合半导体设备制造的发展而不断进行技术创新。
近年来，在半导体以外的产业领域，拓宽空间发挥着积极作用。
半导体制造
计算机、智能手机、家电产品、车辆、医疗器械等的电子半导体设备
分析
质量分析仪、气相色谱分析仪、电子显微镜、分光器
泄漏检查
药品封装、热交换器、产业用抽真空机等的泄漏检查
涂覆
防磨损、表面强化、镜片保护膜等
应用事例一览
EV-X型
工艺覆盖面广，有助于削减CoO，节约能源
EV-M型
节能、高负荷工艺的最佳选择
EV-PA型
小型、轻量、节能
EST型
可处理反应副产物、大流量废气排放
干式真空泵的产品一览
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