"臭氧水制造装置是将臭氧（O₃）溶解到水中，制造（生成）臭氧水的设备。
臭氧水具有强氧化力，除了能够在材料表面形成氧化膜，去除有机物和金属杂质以外，还可用于杀菌、漂白、除臭等用途。
臭氧水经过一段时间之后，会重新分解为水和氧气，无残留性，无需像药液一样进行大规模的废液处理，环保性好，使用安全。
臭氧水除了用于产品制造工艺的清洗用途、材料的氧化和亲水化等表面处理用途以外，还可用于医疗、食品等各个行业。
近年来，从安全性和降低环境负荷的角度出发，臭氧水也被积极引用于浓硫酸等药液置换用途方面。
荏原制作所的臭氧相关产品包括可生成超高浓度臭氧气体的臭氧发生器和臭氧水制造装置。臭氧水制造装置融合了超高浓度臭氧发生器、低污染增压泵和独家的臭氧气体溶解技术，能够制造浓度为125mg/L的高浓度臭氧水，并且浓度稳定性和流量稳定性较高，可以实现高效稳定的工艺处理。
除此以外，设备还搭载了可调节臭氧水流量的按需调节功能，可按照工艺需求量供应臭氧水，从而能够降低运行成本。设备采用省空间化设计，在狭小空间内也能轻松安装。
除了要求高洁净度的半导体和液晶制造工艺以外，化学材料和其他制造工艺中的加工工序等领域也在引进该设备。
迄今为止，荏原的臭氧水相关设备主要结合电子半导体设备制造的发展而不断进行技术创新。
以下是荏原臭氧相关设备的使用事例介绍。
半导体制造
计算机、智能手机、家电产品、车辆、医疗器械等的电子半导体设备
应用事例一览
OZC型
可生成超高浓度臭氧的小型臭氧气体发生器
OZW型
使用具有高浓度稳定性和流量稳定性的臭氧水，实现高效稳定的工艺处理
臭氧相关产品一览
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