涡轮分子泵
磁悬浮型/球轴承型
小型、轻量
可选择控制器一体型
可选择空冷/水冷式
满足联网需求
可选配高温/耐腐蚀规格
安装方式自由灵活
可满足CE标示/SEMI S2/NRTL要求
产品阵容包括2种涡轮分子泵：电磁轴承EMT型、球轴承EBT型。能够广泛满足340～4,200L/min的大范围排气速度,可选择控制器一体型以及水冷/空冷方式。产品阵容覆盖高温规格、耐腐蚀规格、处理反应副产物、低振等各种选配件，可灵活满足广泛的用途需求。
EV-PA型
小型、轻量、节能空冷干式真空泵
EV-A10型
最适合空气抽吸的小型空冷干式真空泵
EV-SA型
满足5,000L/m排气速度要求的小型空冷干式真空泵
ESA型
可满足氢气等轻质气体排气要求/大型腔室高速排气要求的干式真空泵