设备名称		单位	ESR20N	ESR30	ESR30N	ESR500W(N)
排气速度		L/min	1,300 ~ 2,000	3,000	3,000	46,000
极限压力		Pa	2.0	0.53	0.67	0.2
连接口径	吸气口		NW40	NW50	NW50	ISO160
	排气口		NW40	NW40	NW40	NW40
极限压力时功率概值		kW	0.7	1.7	1.7	3.1
冷却水	流量	L/min	2~8	3.5~8	3.5~8	3.5~8
	温度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	19~22 (0)	19~22 (3.4)	19~22 (3.4)	19~22 (3.4)
电源　相／电压／频率	200V机型		三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
	400V机型		三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz
电源容量		kVA	4.0	7.0	7.0	12.3
质量概值		kg	90	190	190	500