设备名称		单位	EST10N	EST25N	EST100WN	EST200WN	EST300WN	EST500WN	EST800WN
排气速度		L/min	1,000	2,500	10,000	20,000	30,000	50,000	80,000
极限压力		Pa	2.7	0.4	0.4	0.4	0.4	0.4	0.5
连接口径	吸气口		NW40	NW40	NW50	NW100	NW100	ISO160	ISO200
	排气口		NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
到達圧力時電力概略時		kW	2.3	3.0	3.2	3.2	4.5	4.6	4.6
冷却水	流量	L/min	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
	温度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	13~18	13~18	24~29	24~29	28~31	28~31	28~31
电源　相／电压／频率	200V机型		三相/200-220V,50/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
	400V机型		三相/380-440V,50/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	-
电源容量		kVA	4.6	7.3	8.2	8.5	12.7	15.1	16.0
质量概值		kg	260	300	380	430	500	550	840