满足高负荷工艺要求
满足高温温控要求
节能
标配耐腐蚀性材料
提高耐腐蚀性的选配件
在不同频率(50/60Hz)下性能一致
无油
可满足CE标示/SEMI-S2/NRTL要求
以荏原独家高温技术,在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中,满足发生反应副产物的高负荷工艺要求。通过高度的节能性能,同时满足高负荷工艺要求和节能要求。标配耐腐蚀性材料,提供110,000L/min的大排气量机型。通过满足工艺条件要求的丰富产品阵容,能够满足大范围的高负荷工艺要求。
设备名称 | 单位 | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M505SF | EV-M802N | EV-M805SF | EV-M1205SF | |
排气速度 | L/min | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 50,000 | 80,000 | 80,000 | 110,000 | |
极限压力 | Pa | 5.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
连接口径 | 吸气口 | NW40 | ISO100 | ISO100 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO200 | ISO200 | ISO200 | |
排气口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
极限压力时功率概值 | kW | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
冷却水 | 流量 | L/min | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
N2 | 流量 | Pa•m3/s | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
电源 相/电压/频率 | 200V机型 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
|
400V机型 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
- | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
||
电源容量 | kVA | 3.3 | 5.4 | 6.0 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
质量概值 | kg | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 | 740 | 820 | 870 |
EST型
可处理反应副产物,实现大流量废气排放的干式真空泵
ESR型
满足腐蚀性工艺要求,节能的干式真空泵
干式真空泵、废气处理装置一体型系统
能够优化腔室排气和废气处理工艺,降低整合管理成本