支持中等负荷工艺
支持高温化控制
节能
采用标配耐腐蚀性材料
增强耐腐蚀性的选配件
不同频率（50Hz/60Hz）下保持稳定性能
无油
可支持CE标志/SEMI-S2/NRTL
省空间化
作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，搭载荏原特有的节能技术，采用面向自动化工厂制造的优化模块设计，并进一步实现了小型化和节能化。
通过大范围的温度控制，扩大了适用工艺范围。因同一机型能够覆盖多种工艺，能够优化备用设备的库存，减少用于维护和培训的人力时间，并且能够灵活应对未来的工艺扩展。此外，在所有工艺中实施最佳的温度控制，从而实现工艺耐受性的提高，并且通过延长部件的更换周期，帮助减少TCoO。
应对的应用例：各种蚀刻和CVD、灰化、离子植入、外延生长等
EV-S型
节能、省空间的干式真空泵
EV-M型
节能、高负荷工艺的最佳选择的干式真空泵
EST型
可处理反应副产物，实现大流量废气排放的干式真空泵
干式真空泵、废气处理装置一体型系统
能够优化腔室排气和废气处理工艺，降低整合管理成本