设备名称	单位	FDS100S	FDS250
处理方式		干式	干式
反应槽条数		1	2
反应槽更换检测		标准：荷重计 选项：PFC检测器	标准：PFC检测器
最大允许流入气体量	L/min	100L/min	250L/min
尺寸	W x D x H mm	600×600×2,000mm	1,605×1,000×2,507
处理剂寿命	L/支	CF4 : 3,000	CF4 : 10,000
处理对象气体		CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3等	CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3等