设备名称	单位	G6 A1~A4	G6 P1~P4
处理方式		燃烧式 + 湿式	燃烧式 + 湿式
最大允许流入气体量	L/min	1,200 x 1,900 x 2,300	1,200 x 1,900 x 2,300
燃料		城市燃气	丙烷气体
尺寸	W x D x H mm	1,200 x 1,900 x 2,300	1,200 x 1,900 x 2,300
可处理气体例		工艺（沉积）气体 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8等 所有洁净气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等 所有蚀刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等	工艺（沉积）气体 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8等 所有洁净气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等 所有蚀刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等
标准装备品		大流量NF3处理燃烧器	大流量NF3处理燃烧器