设备名称 单位 G6-E A1~A4 G6-E P1~P4
处理方式 燃烧式 + 湿式 燃烧式 + 湿式
最大允许流入气体量 L/min 400 400
燃料 城市燃气 丙烷气体
尺寸 W x D x H mm 1,200×650×1,900mm 1,200×650×1,900mm
H₂最大可处理流量 L/min 200 200
可处理气体例 工艺（沉积）气体
H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6等
所有洁净气体
NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等
所有蚀刻气体
HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等		 工艺（沉积）气体
H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6等
所有洁净气体
NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等
所有蚀刻气体
HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等
标准装备品 大流量H2处理燃烧器 大流量H2处理燃烧器
粉体去除用燃烧器刮板 粉体去除用燃烧器刮板
选项 自来水、污水使用量削减单元 自来水、污水使用量削减单元
粉体排放削减用风机洗涤器 粉体排放削减用风机洗涤器