设备名称	单位	GCR120*	GCR250
处理方式		催化式 + 湿式	催化式 + 湿式
最大允许流入气体量	L/min	120	250
反应槽更换检测		PFC检测器	PFC检测器
尺寸	W x D x H mm	1,200×600×1,800mm	1,400×700×1,850mm
可处理气体		CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3、HF、F2、SiF4、CO、COF2、N2O等	CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3、HF、F2、SiF4、CO、COF2、N2O等
*销售数量产品