设备名称	单位	GTE-3-0	GTE-0-2	GTC-1-0	GTC-2-0	GTC-6-0	GTC-0-1
处理方式		干式	干式	干式	干式	干式	干式
可处理气体		HBr、Cl2、BCl3、F2、SiF4、HF、COF2、C5F8、C4F6等	NF3、N2O、NO、NO2、SiF4、HF、F2等	SiH4、PH3、AsH3、TMS等	NH3、SiH2Cl2、SiCl4等	TEOS、TMB、TME、O3等	ClF3、HF、F2、HCl等
最大允许流入气体量	L/min	100	80	100	100	100	100
尺寸 Single	W x D x H mm	600x600x2,000	900x600x2,000	600x600x2,000	600x600x2,000	600x600x2,000	600x600x2,000
Dual	W x D x H mm	900x600x2,000	-	900x600x2,000	900x600x2,000	900x600x2,000	900x600x2,000