型号		单位	G-WS1000
最大处理风量		L/min	1,000
连接流入口数			4
外形尺寸		mm	W914×D736×H1,727
容量	水量	L/min	1 - 10
	排水量	L/min	1 - 10
	氮	L/min	15-50
	电源		1.8-3.5kW、3相AC 200V（50/60Hz）
	排气管道（已处理气体）	m3/min	1.5
	排气管道 （框体排气）	m3/min	1.3
主要的可处理气体	Epi		HCl、DCS
	CVD		WF6、 NH3、 TiCl4、 BCl3、 ClF3、 SiF4、 Cl2*、 F2*
	Etching		BCl3、 HCl、 HF、 HBr、 SiF4、 Br2*、 Cl2*、 F2*
	Asher		NH3
无法进行湿式处理的气体			H2、 SiH4、 PH3、 GeH4、 CH4、 PFCs （CF4、 SF6、 NF3） etc.
*如需处理敬请垂询