可供应高浓度、大流量臭氧水
臭氧水杂质含量低
高浓度和流量稳定
可靠性高、操作方便
满足SEMI/CE标示要求
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产品介绍
OZW型是能够供应具有高浓度稳定性和流量稳定性臭氧水的臭氧水制造装置。通过低污染加压泵和独家的臭氧气体溶解技术，能够生成杂质较少的臭氧水。随时检测臭氧水浓度，并进行反馈控制，可使臭氧水保持稳定的浓度。此外，设备还嵌入有运行信号、互锁信号电路，能够做到与清洗装置联动。维护也非常方便。配备臭氧气体检测仪、臭氧气体无毒化催化等安全仪器，并搭载装置发生异常时能够安全停机的安全电路。