设备名称	单位	TND-Single A1-A4/ TND-Single P1~P4	TND-Single Plus-A1~A4/P1~P4
处理方式		燃烧式 + 湿式	湿式 + 燃烧式 + 湿式
最大允许流入气体量	L/min	200(每个端口）	200(每个端口）
		400(每台装置）	400(每台装置）
燃料		选择城市燃气/丙烷气体	选择城市燃气/丙烷气体
尺寸	W x D x H mm	1,200 x 650 x 1,980	1,200 x 650 x 1,980
可处理气体例		工艺（沉积）气体 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8等 所有洁净气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等 所有蚀刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等	工艺（沉积）气体 WF6、TiCl4、SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 など 所有洁净气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等 所有蚀刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6等
标准装备品		粉体去除用水清洗结构	前道粉体捕集结构
		粉体去除用燃烧器刮板	粉体去除用燃烧器刮板
选项		自来水、污水使用量削减单元	自来水、污水使用量削减单元
		粉体排放削减用风机洗涤器	粉体排放削减用风机洗涤器