從生命科學、太空科學等基礎科學，到醫療、生物、工業產品等各個產業及領域，都會將輻射光運用在研究開發中。在用於產生輻射光的加速器、儲存環、將輻射光運往試料的光束線中，則會使用高真空或超高真空的環境。荏原的乾式真空幫浦所具備的排氣性能非常優秀，也適用於排氣困難的氫氣，最適合用來當作渦輪分子幫浦的輔助幫浦，協助打造出超高真空的環境。
乾式真空幫浦
EV-PA型
小型・輕量・節能的空冷乾式真空幫浦
EMT型/ EBT型
超高真空用渦輪分子泵
ESA型
可因應氫氣等輕量氣體之排氣／大型艙室的高速排氣的乾式真空幫浦
EV-A10型
最適合用於大氣抽取、小型空冷乾式真空幫浦
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