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半導體製造
半導體支持著日常生活中各式各樣不可或缺的設備。荏原的產品用於製造半導體時各項必要工程中。 荏原的乾式真空泵運用於半導體製造中不可或缺的各項製造工程，如成膜、蝕刻、注入離子等。
分析
分析器廣泛採用於化學品、醫藥品及工業產品的成分分析、表面解析、血液檢查等多元領域。荏原的乾式真空泵搭配質量分析計、氣相色譜法、電子顯微鏡、光譜儀等各種分析器活躍於各領域。
洩漏檢查
醫藥品包裝與空調機器等密封容器滲漏的洩漏檢查。荏原的乾式真空幫浦可幫助提升品質。 荏原的乾式真空泵也能協助提升這些密封容器的可靠性。
塗裝
可廣泛運用於工業用製品、服飾品或光學零件等各種領域。荏原的乾式真空幫浦於形成高品質鍍膜的領域十分活躍。
相關應用事例一覽
何謂乾式真空泵
在建構乾淨的真空環境時，不可或缺的非接觸式結構乾式真空幫浦。以半導體製造工程為主，活躍於各項領域。
何謂半導體製造設備
製造生產在精密且高積體半導體的製造中不可或缺的高生產率CMP設備、高研磨性能的倒角研磨設備、可靈活配置的電鍍設備。向全世界主要的半導體製造商供應半導體製造設備。
何謂廢氣處理設備
將地球暖化氣體（PFCs）、有毒氣體、VOC等製造工程中產生的有害氣體無害化後，再排入大氣中的除害設備。即使是除害處理困難的PFCs氣體，荏原的排氣處理設備也能高效處理。
何謂臭氧水製造裝置
臭氧水是將臭氧（O<sub>₃</sub>）溶入水中，具有很強的氧化力。荏原的臭氧水製造設備能製造出高濃度且濃度穩定性高的臭氧水，可提升處理效率與清潔度。
乾式真空泵 EV-PA型
省能源設計、小型・輕量・空冷機型
CMP裝置
優異的工程性能與高可靠性
廢氣處理設備 TND型
實現低NoX、低CO排出與高效率處理
臭氧水製造裝置 OZW型
製造高濃度・濃度穩定性高的臭氧水
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