臭氧水製造装置是将臭氧（O₃）溶解到水中，製造（生成）臭氧水的設備。
臭氧水具有强氧化力，除了能够在材料表面形成氧化膜，去除有機物和金属雜質以外，還可用于殺菌、漂白、除臭等用途。
臭氧水經過一段時間之後，會重新分解為水和氧氣，無残留性，無需像藥液一樣進行大規模的廢液處理，具環保性，使用安全。
臭氧水除了用于產品製程的清洗用途、材料的氧化和親水化等表面處理用途以外，還可用于醫療、食品等各個行業。
近年来，從安全性和降低環境負荷的角度出發，在濃硫酸等藥液置换用途方面，人們也在積極引進使用臭氧水。
荏原製作所的臭氧相關產品有可生成超高濃度臭氧的臭氧產生器，和臭氧水製造裝置。臭氧水製造裝置結合了超高濃度臭氧產生器、低污染加壓泵和本公司獨家臭氧氣體溶解技術，可生產濃度125mg/L的高濃度臭氧水，具有高濃度穩定性、高流量穩定性的特色，可實現高效率、穩定的工程處理。
另外，亦搭載客製化功能，可根據工程需要供應臭氧水的流量，以降低運作成本，省空間設計即使於有限的空間內也方便安裝。
除了要求高度清潔的半導體、液晶製造工程，也正引進至化學材料及其他製造工程的加工工程領域。
目前為止，荏原的臭氧水相關設備主要隨著電子半導體機械製造的發展而進行技術革新。
以下介紹荏原的臭氧相關設備的使用例子。
半導體裝置製造
電腦、智慧型手機、家電產品、車輛、醫療儀器等電子半導體機械
相關應用事例一覽
OZC型
小型臭氧產生器，可產生超高濃度臭氧氣體
OZW型
以具高濃度穩定性和流量穩定性的臭氧水實現高效穩定的製程處理
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