靈活結構
降低安裝負荷
省空間
可一次操作・管理
泵連接台數：1～8台
乾式真空泵＋廢氣處理設備一體型系統為本公司乾式真空泵和廢氣處理設備的整合產品。為您提供可使生產效率最大化的系統。根據您的條件，將最合適的乾式真空泵引進至廢氣處理設備中，降低安裝設備的負荷。以整合排氣系統實現高效製程的一次操作和一次管理。
EV-M型
最適合用於節能・高負荷工程的乾式真空幫浦
TND型
燃燒式廢氣處理設備，以低NOx且豐富的反應副產物對策降低維修成本
G5型
高效率處理 可燃性氣體・地球暖化氣體（PFCs氣體）的燃燒式廢氣處理設備