渦輪分子泵
磁浮型／滾珠軸承型
小型・輕量
可選擇控制器一體型
可選擇空冷／水冷
支援連接網路
高溫／耐腐蝕規格選擇
可自由安裝
支援CE認證／SEMI S2/ NRTL
渦輪分子泵有磁力軸承型的EMT，和滾珠軸承型的EBT型2種類型。排氣速度可從340~4,200L/min，可因應的範圍很廣，還可選擇集成控制器型或水冷／空冷的方式。有高溫規格、耐腐蝕規格、因應反應副產物、低振動等各式各樣的機型可供選擇，可靈活因應廣泛用途。
EV-PA型
小型・輕量・節能的空冷乾式真空幫浦
EV-A10型
最適合用於大氣抽取、小型空冷乾式真空幫浦
EV-SA型
排氣速度可到5,000L/m，小型空冷乾式真空幫浦
ESA型
可因應氫氣等輕量氣體之排氣／大型艙室的高速排氣的乾式真空幫浦