支援大型真空腔體高速排氣
因應有機溶劑的選項
排放氫等輕氣體
耐腐蝕材料的選擇
無油
可支援CE認證/SEMI-S2/NRTL
ESA型有適用於排放氫等輕氣體的機型,排氣量為1,400L/min ~ 10,000L/min,亦有適用於大型腔體的高速排氣的機型,排氣量為20,000L/min~80,000L/min。10,000L/min適用於排放輕氣體的機型,設計小巧,可選擇耐腐蝕材料,是用於MO-CVD等大流量排放輕氣體的首選。大型機型的排氣量雖大,但可實現靜音・低振動,亦有有機溶劑排氣用的可選項目,適用於LCD 濺鍍裝置、真空乾燥製程和大型Loadlock。
型號 | 單位 | ESA15-D | ESA25-D | ESA25XW | ESA70W(-D) | ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF | ESA80WN-HDF | ESA100W | ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W | |
排氣速率 | L/min | 1,400 (50Hz) | 2,500 (50Hz) | 5,000 (50Hz) | 7,000 (50Hz) | 7,000 (50Hz) | 8,400 (50Hz/60Hz) | 8,400 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 20,000 (50Hz/60Hz) | 28,000 (50Hz) | 47,000 (50Hz) | 80,000 (50Hz/60Hz) | |
1,700 (60Hz) | 3,000 (60Hz) | 6,000 (60Hz) | 8,400 (60Hz) | 8,400 (60Hz) | 30,000 (60Hz) | 50,000 (60Hz) | |||||||||
到達底壓 | Pa | 400 (50Hz) | 5.3 (50Hz) | 5.3 (50Hz) | 0.27 (50Hz) | 0.4 (50Hz) | 0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 | |
270 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 0.13 (60Hz) | 0.27 (60Hz) | |||||||||||
連接口徑 | 進氣口 | NW40 | NW50 | ISO80 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | |
排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ||
到達壓力時電力概估/時 | kW | 2.9 (50Hz) | 2.6 (50Hz) | 5.2 (50Hz) | 3.6 (50Hz) | 3.6 (50Hz) | 4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | 3.2 (50Hz) | 6.6 (50Hz) | 5.1 (50Hz) | 7.4 | |
3.2 (60Hz) | 2.9 (60Hz) | 5.8 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 3.4 (60Hz) | 7.3 (60Hz) | 6.7 (60Hz) | ||||||||
冷卻水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 |
溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
N2 | 流量 | Pa•m3/s | 14~17 (4.6) | 17~20 (3.8) | 34~40 | 24~27 (4.7) | 24~27 (4.7) | 54~57 | 54~57 | 54~57 | 54~45 | 17~20 (3.8) | 7.5~10.5 | 8.5~11 | 8.5~11 |
電源 相/電壓/頻率 | 200V機型 | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
|
400V機型 | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
- | ||
460V機型 | 3相/440V/50Hz 3相/440-480V/60Hz |
3相/440V/50Hz 3相/440-480V/60Hz |
3相/440V/50Hz 3相/440-480V/60Hz |
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消耗電力 | kVA | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12 | 23.7 | 41.3 | 46.5 | |
重量 | kg | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | 400 | 400 | 400 | 400 | 410 | 700 | 750 | 1200 |
ESR型
因應腐蝕性工程、省能源的乾式真空幫浦
EV-S型
節能・省空間的乾式真空幫浦
EV-PA型
小型・輕量・節能的空冷乾式真空幫浦
乾式真空幫浦/廢氣處理設備一體化系統
可將腔體排氣・廢氣處理製程最佳化,降低統合・管理的成本