EST型 | EBARA CORPORATION

型號		單位	EST10N	EST25N	EST100WN	EST200WN	EST300WN	EST500WN	EST800WN
排氣速率		L/min	1,000	2,500	10,000	20,000	30,000	50,000	80,000
到達底壓		Pa	2.7	0.4	0.4	0.4	0.4	0.4	0.5
連接口徑	進氣口		NW40	NW40	NW50	NW100	NW100	ISO160	ISO200
連接口徑	排氣口		NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
到達壓力時電力概估/時		kW	2.3	3.0	3.2	3.2	4.5	4.6	4.6
冷卻水	流量	L/min	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
冷卻水	溫度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	13~18	13~18	24~29	24~29	28~31	28~31	28~31
電源　相／電壓／頻率	200V機型		3相/200-220V,50/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz
電源　相／電壓／頻率	400V機型		3相/380-440V,50/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	-
消耗電力		kVA	4.6	7.3	8.2	8.5	12.7	15.1	16.0
重量		kg	260	300	380	430	500	550	840