型號		單位	EV-M20N	EV-M102N	EV-M202N	EV-M302N	EV-M502N	EV-M505SF	EV-M802N	EV-M805SF	EV-M1205SF
排氣速率		L/min	1,800	10,000	20,000	30,000	50,000	50,000	80,000	80,000	110,000
到達底壓		Pa	5.0	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
連接口徑	進氣口		NW40	ISO100	ISO100	ISO100	ISO160	ISO160	ISO200	ISO200	ISO200
	排氣口		NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
到達壓力時電力概估/時		kW	1.2	1.8	1.9	2.3	2.1	3.9	2.8	4.6	5.3
冷卻水	流量	L/min	3~8	3~8	3.5~8	4~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
	溫度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	26~31	26~31	26~31	26~31	28~33	228	28~33	228	34~35
電源　相／電壓／頻率	200V機型		3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz
	400V機型		3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	-	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz
消耗電力		kVA	3.3	5.4	6.0	6.8	7.1	15.7	8.3	19.4	14.2
重量		kg	170	320	360	400	500	580	740	820	870