節能
小型・輕量
耐腐蝕材料的選擇
可選擇N2 purge model
不同頻率(50/60Hz)性能相同
無油
可支援CE認證/SEMI-S2/NRTL
以獨創的轉子設計和節能功能,實現世界最高等級的節能及小型化。有助於降低運行成本。另外,可選擇耐腐蝕材料,從 輕製程・SEM等輕負荷用途到腐蝕性製程皆可廣泛應用。
型號 | 單位 | EV-S20 | EV-S20P/N | EV-S30 | EV-S30P | EV-S50 | EV-S50P/N | EV-S100 | EV-S100P/N | EV-S200 | EV-S200P/N | |
排氣速率 | L/min | 1,670 | 1,670 | 3,300 | 3,300 | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 20,000 | 20,000 | |
到達底壓 | Pa | 3.0 | 5.0 | 0.5 | 1.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
連接口徑 | 進氣口 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | NW80 | NW100 | NW100 | |
排氣口 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW40 | NW40 | ||
到達壓力時電力概估/時 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
冷卻水 | 流量 | L/min | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
N2 | 流量 | Pa•m3/s | - | 17~20 (2.4) | - | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | |||
電源 相/電壓/頻率 | 200V機型 | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | |
400V機型 | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | - | - | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | ||
消耗電力 | kVA | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 | |
重量 | kg | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 | 120 | 120 | 170 | 170 | |
※規格僅為一例。不同機種狀況各異,詳細敬請洽詢 ※無記載的規格敬請洽詢 |
ESA型
可因應氫氣等輕量氣體之排氣/大型艙室的高速排氣的乾式真空幫浦
EV-SA型
排氣速度可到5,000L/m,小型空冷乾式真空幫浦
乾式真空幫浦/廢氣處理設備一體化系統
可將腔體排氣・廢氣處理製程最佳化,降低統合・管理的成本