適用中負荷製程
適用高溫化控制
節能
標準採用耐腐蝕性材料
可進一步選配加強耐腐蝕性材質
不同頻率（50Hz/60Hz）下相同性能
可適用CE標誌／SEMI-S2／NRTL
節省空間
配備荏原獨創之節能技術，採用針對自動化工廠製造最佳化之模組設計，實現更加小型化・節能化之中負荷製程使用之乾式真空泵浦。
以廣域範圍的溫度控制機能擴大適用於各製程。能以同一機種因應多種製程，使預備機庫存最佳化、減輕人力負擔，亦可彈性因應未來製程擴充。並藉由實現為各製程實施最佳溫度控制以提升製程耐性，使零件更換周期變長有益於減少TCoO。
適用應用製程例：各種蝕刻及化學氣相沉積、去光阻、離子注入、磊晶等製程
EV-S型
節能・省空間的乾式真空幫浦
EV-M型
最適合用於節能・高負荷工程的乾式真空幫浦
EST型
可因應反應副產物、大流量氣體排氣的乾式真空幫浦
乾式真空幫浦／廢氣處理設備一體化系統
可將腔體排氣・廢氣處理製程最佳化，降低統合・管理的成本