型號	單位	FDS100S	FDS250
處理方式		乾式	乾式
反應槽座數		1	2
反應槽交換偵測		標準 : 荷重計 選配 : PFC偵測器	標準： PFC偵測器
最大流入氣體容許量	L/min	100L/min	250L/min
尺寸	W x D x H mm	600×600×2,000mm	1,605×1,000×2,507
處理劑壽命	L/座	CF4 : 3,000	CF4 : 10,000
處理目標氣體		CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3 等	CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3 等