型號	單位	G6 A1~A4	G6 P1~P4
處理方式		燃燒式＋濕式	燃燒式＋濕式
最大流入氣體容許量	L/min	1,200 x 1,900 x 2,300	1,200 x 1,900 x 2,300
燃料		天然氣	液化石油氣
尺寸	W x D x H mm	1,200 x 1,900 x 2,300	1,200 x 1,900 x 2,300
可處理的氣體		工程(倉庫)氣體 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2 、PH3、Si3H8等 所有清洗用氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等	工程(倉庫)氣體 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2 、PH3、Si3H8等 所有清洗用氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等
標準配備品		大流量NF3處理燃燒器	大流量NF3處理燃燒器