型號 單位 G6-E A1~A4 G6-E P1~P4
處理方式 燃燒式＋濕式 燃燒式＋濕式
最大流入氣體容許量 L/min 400 400
燃料 天然氣 液化石油氣
尺寸 W x D x H mm 1,200×650×1,900mm 1,200×650×1,900mm
H₂最大可處理流量 L/min 200 200
可處理的氣體 工程(倉庫)氣體
H2 、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、等
所有清洗用氣體
NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等
所有蝕刻氣體
HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等		 工程(倉庫)氣體
H2 、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、等
所有清洗用氣體
NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等
所有蝕刻氣體
HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等
標準配備品 大流量H2處理燃燒器 大流量H2處理燃燒器
粉體除去用燃燒器刮刀 粉體除去用燃燒器刮刀
選配 減少市水、排水用量元件 減少市水、排水用量元件
減少粉體排出用扇葉洗滌塔 減少粉體排出用扇葉洗滌塔