型號	單位	GCR120*	GCR250
處理方式		觸媒式＋濕式	觸媒式＋濕式
最大流入氣體容許量	L/min	120	250
反應槽交換偵測		PFC偵測器	PFC偵測器
尺寸	W x D x H mm	1,200×600×1,800mm	1,400×700×1,850mm
可處理的氣體		CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3、HF、F2、SiF4、CO、COF2、N2O等	CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3、HF、F2、SiF4、CO、COF2、N2O等
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