型號		單位	G-WS1000
最大處理風量		L/min	1,000
銜接流入口數			4
外形尺寸		mm	W914×D736×H1,727
用力	水量	L/min	1 - 10
	排水量	L/min	1 - 10
	氮	L/min	15-50
	電源		1.8-3.5kW, 3相AC 200V(50/60Hz)
	排氣管（已處理氣體）	m3/min	1.5
	排氣管 （機身排氣）	m3/min	1.3
主要可處理氣體	Epi		HCl, DCS
	CVD		WF6, NH3, TiCl4, BCl3, ClF3, SiF4, Cl2*, F2*
	Etching		BCl3, HCl, HF, HBr, SiF4, Br2*, Cl2*, F2*
	Asher		NH3
濕式無法處理之氣體			H2, SiH4, PH3, GeH4, CH4, PFCs (CF4, SF6, NF3) etc.
＊處理時請諮詢