型號	單位	TND-Single A1-A4/ TND-Single P1~P4	TND-Single Plus-A1~A4/P1~P4
處理方式		燃燒式＋濕式	濕式＋燃燒式＋濕式
最大流入氣體容許量	L/min	200(每1埠)	200(每1埠)
		400(每1設備)	400(每1設備)
燃料		天然氣／液化石油氣	天然氣／液化石油氣
尺寸	W x D x H mm	1,200 x 650 x 1,980	1,200 x 650 x 1,980
可處理的氣體		工程(倉庫)氣體 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2 、PH3、Si3H8など 所有清洗用氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等	工程(倉庫)氣體 WF6、TiCl4、SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 所有清洗用氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等
標準配備品		粉體除去用水洗淨機構	前段粉體捕集機構
		粉體除去用燃燒器刮刀	粉體除去用燃燒器刮刀
選配		減少市水、排水用量元件	減少市水、排水用量元件
		減少粉體排出用扇葉洗滌塔	減少粉體排出用扇葉洗滌塔