・R&D・開発用途にも最適な高スループット・低ダウンタイム	CMP装置
・高い研磨性能と高精度形状コントロール	ベベル研磨装置
・高速・均一電解	めっき装置
・省エネ・高負荷アプリケーション対応	ドライ真空ポンプ
・高処理効率・長寿命	除害装置
・高濃度・流量安定性に優れたオゾンガス／オゾン水製造装置
・装置組込みに最適な小型・高効率	液送ポンプ　など