名  称 SEMICON Japan 2018
http://www.semiconjapan.org/jp/
会  期 2018年12月12日(水)~14日(金)
10:00~17:00(3日間共通)
会  場 東京ビッグサイト(東京都江東区)
主  催 SEMI
ブース No. 東展示場 東4ホール(ブース番号:4344)
展示内容
(※は実機展示あり)
・ドライ真空ポンプ
(EV-A10型、EV-M型※、EV-S型※、ESA型、EV-PA型(NEW)※、EV-SA型、EV-L型※)
・排ガス処理装置
(G5型、G6型、ドライ真空ポンプ+排ガス処理装置一体型システム)
・CMP装置
・実装めっき装置
・ベベル研磨装置
・オゾン水製造装置 ほか